兩面觀察測(cè)量顯微鏡
品牌:日本UNION
型號(hào)：DCM-40/60
DCM-40/60是一款設(shè)計(jì)獨(dú)特的顯微鏡，可分別或同時(shí)觀察物體的表面和底面圖像，并對(duì)兩圖像進(jìn)行比較，還可以通過(guò)測(cè)量裝置測(cè)量?jī)蓤D像（表面和底面）的偏差。可選的物鏡有五種，放大倍率從50X~100X。測(cè)量精度可達(dá)1μm。
DCM-40/60主要應(yīng)用于微電子行業(yè)，特別是在半導(dǎo)體行業(yè)。產(chǎn)品上下面尺寸有偏移時(shí)就可以直接對(duì)比測(cè)量，減少其它間接測(cè)量方式的誤差且不會(huì)損壞產(chǎn)品。例如：晶圓劃片基準(zhǔn)印字偏移，柔性線路板線路間距，陶瓷電容片切割對(duì)位和IC框架邊緣質(zhì)量等應(yīng)用。
規(guī)格：
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型號(hào)
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DCM-40
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DCM-60
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物鏡
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5X, 10X, 20X ,40x, 100X
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5X, 10X, 20X ,40x, 100X
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工作臺(tái)
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50X50mm ~100X100mm
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150X150mm
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光源
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150W鹵素?zé)?span lang="EN-US">2套
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150W鹵素?zé)?span lang="EN-US">2套
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工件厚度
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20mm
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30mm
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選配件
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照相系統(tǒng)、TV系統(tǒng)
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測(cè)量步驟：
1.將"光路選擇開關(guān)"旋轉(zhuǎn)到"Top& Bottom"位置，調(diào)整上、下物體的光軸至重合。
2.將工件置于工作臺(tái)上。旋轉(zhuǎn)"光路選擇開關(guān)"到"Top" 位置，對(duì)焦上表面. .
3.旋轉(zhuǎn)“光路選擇開關(guān)"到"Bottom” 位置， 對(duì)焦下表面。.
4.將“光路選擇開關(guān)"旋轉(zhuǎn)到"Top &Bottom"位置，測(cè)量?jī)蓤D像的位置偏差。
設(shè)備：
